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理學將於SEMICON Taiwan 2026展示先進X射線計量與檢測解決方案

– 人工智慧時代的X光技術用於先進邏輯、HBM與先進封裝 –

2026-08-31 11:26
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台灣新竹--(美國商業資訊)--理學集團將於2026年9月2日至4日在台北南港展覽館一館參與「SEMICON Taiwan 2026」展出。

本新聞稿包含多媒體資訊。完整新聞稿請見此: https://www.businesswire.com/news/home/20260830431008/zh-HK/

SEMICON Taiwan是半導體產業的國際領先展覽。台灣擁有全球領先的半導體生態系統,並在先進邏輯、高頻寬記憶體(HBM)及先進封裝技術的製造中扮演核心角色。隨著2025年台灣理學科技中心(RTC-TW)的開幕,理學持續強化其在該地區的存在感。

因應半導體製造在先進邏輯、HBM及先進封裝領域的日益複雜,Rigaku將於SEMICON Taiwan 2026展示先進的X射線計量與檢測解決方案。這些解決方案涵蓋從研發到大規模製造的應用,支援製程控制、材料特性分析及非破壞性分析,針對日益複雜的半導體元件與封裝。參觀者也可在攤位與理學專家會面,討論特定的計量、製程控制與分析需求。

產品亮點

  • XHENA AX-3000:先進的X射線檢測技術,用於2.5D/3D封裝,設計用來檢查僅用傳統光學檢測難以檢測的隱藏結構。 系統具備3D層析影像與自動缺陷識別,支援高解析度、次微米級缺陷偵測,應用範圍涵蓋CoWoS*1、HBM及混合鍵合中的微凸塊與矽穿孔(TSV)製程。目前可供客戶進行評估。
  • XHEMIS WX-PLP310:用於面板級封裝(PLP)*2 製程控制的新型 X 射線分析儀,目前可供客戶進行評估。該系統可測量大型基板上的材料組成與薄膜厚度,並支援朝向大型面板格式轉變的先進封裝製程控制。
  • XTRAIA MF 系列:本系列的旗艦機種為XTRAIA MF-3400,這是 Rigaku 第四代多功能 X 射線計量平台,可提供快速的薄膜分析,另外還有 XTRAIA XD-3300,可用於量測晶圓上超小尺寸測試監控墊的高精度結構。
  • ONYX系列:支援先進封裝、HBM、混合鍵合及BEOL製程控制等應用。 它結合 X 射線與光學技術,能快速且無損地量測複雜多層結構。

    *1 CoWoS(Chips-on-Wafer-on-Substrate):一種先進封裝技術,將多顆晶片垂直整合於單一封裝中。
    *2 面板層級封裝 (PLP):使用大片矩形基板取代圓形晶圓的封裝方法,使每個生產批次能夠產生更多晶片。

理學也將強調與Onto Innovation的策略聯盟,Onto Innovation結合X射線與光學技術,推動半導體製造的混合計量解決方案。

作為理學75週年慶典的一部分,攤位將展示由員工為紀念這個里程碑而創作的官方品牌吉祥物Dr. Rixsee。參觀者還將免費獲得一本理學75週年紀念筆記本,數量有限。

展覽概述

關於理學集團

自1951年成立以來,理學集團的工程專業人員致力於以尖端技術造福社會,尤其是其核心領域X射線與熱分析。Rigaku 在 136 個國家及地區擁有市場布局,並擁有來自全球9 個營運單位的約 2,000 名員工,是產業與研究分析機構的解決方案合作夥伴。我們的海外銷售比率已達約70%,同時在日本保持極高的市場佔有率。我們與客戶攜手,持續發展與成長。隨著應用從半導體、電子材料、電池、環境、資源、能源、生命科學擴展到其他高科技領域,理學實現了「透過推動新視野來改善我們的世界」的創新。

詳情請造訪:rigaku-holdings.com/english

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CONTACT:

新聞聯絡人:
日野澤 理學控股公司 企業傳播部部長
prad@rigaku.co.jp

理學展覽攤位

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Dr. Rixsee

Dr. Rixsee

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