日本京都--(美國商業資訊)--株式會社村田製作所 (TOKYO:6981)（以下簡稱「村田」）開發出了針對工業設備的數位三軸MEMS(1)加速度感測器「SCA3400系列」（以下簡稱「本產品」）。本產品在長期使用下的感測器輸出變化值（偏移壽命漂移(2)）低於0.5mg（毫伽），屬於業界居先水準(3)。本產品具備高度耐久性，有助於提升橋樑、建築等結構物劣化監測設備的可靠性，可望於2025年10月開始量產。
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(1) MEMS（微型電子機械系統）：透過對矽片等材料的精細加工，製造出感測器結構和電子電路的技術。
(2) 偏移壽命漂移：指感測器在使用期間輸出數值發生偏移的現象。該數值越高，偏移越大。
(3) 資料來源：村田，截至2025年6月23日。
隨著工業設備的數位化，自動檢測結構物和機械設備等異常或損傷、實現預測性維護的需求不斷成長。透過感測器進行變化偵測是實現自動化的重要方式之一。尤其在對橋樑、建築等進行結構健康監測時，需要進行長期監控，因此，能夠準確捕捉結構物微小形變或變化的加速度感測器效能，會直接影響整個監測系統的可靠性。然而，傳統能夠偵測細微傾斜的高精確度加速度感測器，其偏移壽命漂移值較高，使用時間一長，基準位置偏移就會增大，導致難以準確監測結構物的劣化。
對此，村田透過自主研發的MEMS製程與新型電路設計，開發出了既可偵測微小傾斜、又將偏移壽命漂移值控制在0.5mg以下的本產品。藉此，有助於提升結構健康監測等系統的長期高精確度測量能力。本產品還具備出眾的抗振動和抗溫度變化能力，即使在惡劣環境下的工業設備中，也可實現長期穩定使用。
今後，村田將繼續致力於高精確度加速度感測器的研發，滿足多樣化的市場需求。
主要特點
- 偏移壽命漂移值業界居先，低於0.5mg。
- 低雜訊，能夠準確偵測微小動作。
- 具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，可在惡劣環境下穩定運行。
- 配備可即時監控感測器狀態的自診斷功能。
- 與村田以往產品採用相同尺寸和輸出方式，便於客戶減少額外設計工時。
主要參數
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尺寸（長×寬×高） |
8.6 x 7.6 x 3.3 mm |
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工作溫度範圍 |
-40℃ ~ +85°C |
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加速度測量範圍 |
±1.2g, ±2.4g （可選） |
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靈敏度 |
15,000 LSB/g |
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雜訊密度 |
20 µg/√Hz |
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偏移壽命漂移（典型值） |
≤ 0.5mg (X,Y), ≤ 2mg (Z) |
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靈敏度壽命漂移（典型值） |
±0.02 % (X,Y), ±0.2% (Z) |
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關於村田製作所
村田製作所是一家全球性的綜合電子元器件製造商，主要從事以陶瓷為基礎的電子元器件的開發、生產和銷售業務。致力於透過自身開發累積的材料開發、製程開發、商品設計、生產技術以及對它們提供支援的軟體和分析評估等技術基礎，創造獨特產品，為電子社會的發展貢獻力量。
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【株式會社村田製作所】 針對工業設備的數位三軸MEMS加速度感測器
