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Advanced Energy

美國Advanced Energy公司推出新型Luxtron®FluorOptic®感測平臺,拓展高精度溫測系列產品

該新型感測平臺(含RubiLux™ 和VioLux™螢光配方)可在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量。

2022-07-15 12:07
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科羅拉多州丹佛市--(美國商業資訊)--美國Advanced Energy公司(那斯達克:AEIS)是高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案方面的全球領導者,該公司利用一種新型轉換平臺和兩種獨家專屬螢光配方,拓展其FluorOptic® Thermometry(螢光光纖測溫儀(FOT))解決方案中的Luxtron®系列產品。LuxtronM-1000轉換器(含RubiluxTM 和VioLuxTM螢光配方)可在更大溫度範圍內實現高精準溫度測量,解決最先進半導體蝕刻和沉積製程中的一系列難題。

本新聞稿包含多媒體。此處查看新聞稿全文: https://www.businesswire.com/news/home/20220711005994/zh-CN/

Luxtron M-1000配備新型光源和經過改進的低雜訊光探測裝置,具備雙通道能力,低精度誤差(±0.2°C),穩定性高出0.05°C,並且,具有業界最寬的操作範圍(-200°C至450°C)。該轉換器經過最佳化,具有兩種螢光配方,可適應全系列溫度範圍。

Jeff Hebb(美國Advanced Energy公司精密感測和控制部門策略行銷副總裁)說到:「對於在建立半導體裝置(比如:3D NAND)中使用的先進高縱橫比(HAR)蝕刻而言,晶圓溫度是其中一項非常重要的製程參數。為最佳化HAR蝕刻製程,先進的半導體製造商日益轉向更廣的操作溫度(比如從低溫吸盤到加熱吸盤)。透過在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量,M-1000轉換器和新型螢光配方能夠勝任HAR製程量產製造所要求的全系列溫度範圍測量。」

近幾十年,美國Advanced Energy公司的Luxtron FOT感測技術憑藉其高溫測量所具有的高精度和廣度操作範圍一直處於產業領先地位。Luxtron FOT感測系統融合螢光塗層光纖探針和高性能轉換器(該轉換器整合先進光源、光測器專屬軟體演算法和低雜訊放大電路系統)。在強電磁領域(包括等離子蝕刻和沉積、MRI系統和變壓器)內的各項製程中,與傳統電子感測器相比,由於Luxtron FOT系統所進行的溫度測量以其光纖感測為基礎,因此,其具有更卓越的高精度性。

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關於Advanced Energy

Advanced Energy(那斯達克:AEIS)致力於為任務關鍵型應用和製程設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制解決方案,這方面的技術一直領先世界。AE一直為客戶提供各種電源解決方案,讓客戶可針對不同產業的各種複雜應用,開發各種創新產品,其中包括半導體設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心計算系統和醫療護理設備。憑藉廣泛而深厚的專業知識累積和觸及全球的快速回應服務網路,AE力圖透過緊密的合作關係來滿足技術的快速發展、推動客戶的成長並助力技術的未來。AE總部位於美國科羅拉多州丹佛市,四十年來一直致力於為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。

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該新型感測平臺(含RubiLux™ 和VioLux™螢光配方)可在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量。(照片:美國商業資訊)

該新型感測平臺(含RubiLux™ 和VioLux™螢光配方)可在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量。(照片:美國商業資訊)

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