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Gigaphoton公司实现每年削减氦气使用量1万千升的目标

世界首创 在全球开展不使用氦的纯化工艺

2016-09-28 10:59
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栃木县小山市--(美国商业资讯)--光刻光源的主要生产厂商——Gigaphoton公司(总公司:栃木县小山市,总裁:都丸仁,www.gigaphoton.com)宣布,使用该公司“无氦化”技术的高输出ArF浸润式准分子激光器(以下称为ArF激光器)每年在全世界实现的氦气削减量已达到1万千升。

从2013年起,Gigaphoton公司按照独创的EcoPhoton™计划(注,持续实施符合客户需要的降低环境负荷的活动——绿色创新活动。到目前为止,已充分运用其拥有的丰富的实绩与经验,为客户削减了各种成本。7月,该公司发表了新的绿色创新路线图。其中,作为氦气供应难问题的解决方案,“无氦化”技术不仅应用于半导体行业,而且为整个工业界做出了巨大的贡献。

本技术通过将在ArF激光器内作为充填气体使用的氦气置换为氮气的方式,将其使用量削减了99%,这是一种世界首创的技术。另外,即使将氦气置换为氮气,也不会牺牲光学特性,可以保持与使用氦气时相同的高稳定性,这也是本技术的一大特征。大型存储器生产商也已在批量生产线的90%以上的激光器上采用了本技术,而且在采用本技术以后,生产线运转稳定,并未对曝光工序产生影响。现在,1台使用“无氦化”技术的ArF激光器的氦气削减量,虽然每年平均只有80千升左右,但是,本技术已被市场中半数以上的激光器所采用,因此,全世界的氦气削减总量已达到每年1万千升。(本公司调查)

Gigaphoton公司总裁兼首席执行官都丸仁先生表示:“氦气除用于半导体行业以外,作为核磁共振成像(MRI)等医疗领域以及磁悬浮列车等领域中无可替代的资源,其需求量非常大。另外,新兴国家对于氦气的需求也在不断增加,现在已处于供给不足的停滞状态。通过采用此‘无氦化’技术 ,可以将氦气用于更需要的领域。今后,Gigaphoton公司将立志成为可以为工业界作出上述贡献的企业,并不断向前迈进。”

与“绿色创新的新路线图”相关的新闻稿

EcoPhoton™计划简介(注
EcoPhoton™计划是Gigaphoton2003年以来制定并实施的路线图,旨在提供一种环保型、符合用户需要的光刻光源。在该计划中,把激光的拥有成本(Cost of Ownership = CoO)分为3类,即:耗材所形成的成本(Cost of Consumable = CoC)、停机时间所形成的成本(Cost of Downtime=CoD)、以及环境负荷的成本(Cost of Environment = CoE),并对各类成本的主要成因进行详细分析,旨在提供运用新技术达到持续降低成本的目的。

Gigaphoton公司简介
Gigaphoton成立于2000年,是一家激光供应商,自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问:www.gigaphoton.com

 

在 businesswire.com 上查看源版本新闻稿: http://www.businesswire.com/news/home/20160927006787/zh-CN/

 

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Gigaphoton株式会社
经营企划部
松井章记
电话:+81-285-37-6931
邮箱:web_info@gigaphoton.com

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