俄勒岡州科瓦利斯--(美國商業資訊)--用於極紫外光微影(EUV)的高解析度金屬氧化物光阻劑先驅Inpria今天宣佈，它已在C輪募資中獲得多家投資者提供的3,100萬美元資金，這些投資者代表了半導體製造生態系統領導者。此次融資由光阻劑製造商和現有投資者JSR Corporation主導。新投資者包括SK hynix Inc.和TSMC Partners。現有投資者Air Liquide Venture Capital ALIAD、Applied Ventures、英特爾資本(Intel Capital)和三星創投(Samsung Venture Investment Corporation)也參與了本輪募資。

JSR Micro總裁兼Inpria新任董事Mark Slezak表示：「Inpria是用於先進EUV光刻製程的金屬氧化物光阻劑的全球領導者。我們很高興擴大與Inpria的夥伴關係，因為我們在品質和整體市場接受度方面與他們合作。」

由氧化錫奈米團簇組成的Inpria光阻劑提供更高的解析度，其結構塊大小僅為傳統聚合物基抗蝕劑的一小部分，可調節至以最佳方式吸收EUV光子。Inpria光阻劑具有無與倫比的蝕刻選擇性，可用於簡化製造流程和提供更大的製程視窗，以降低整體擁有成本。Inpria最近投運了其大量生產工廠，以支援客戶初始的產量提升。

Inpria執行長Andrew Grenville補充道：「我們認為，這些投資者的參與證明了Inpria對半導體業的策略性意義。我們感到高興的是，我們的投資者群現在包括了全球正在採用EUV蝕刻的所有半導體製造商。光阻劑、設備和工業化學品製造商投資者也積極參與，共同協助達成本輪募資的目標。我們期待與全球合作夥伴合作，為業界提供突破性的EUV光阻劑平臺。」

關於Inpria

Inpria公司是金屬氧化物光阻劑設計、開發和製造的全球領導者。Inpria的EUV光阻劑使半導體製造商能夠充分利用EUV光刻技術的潛力。如欲瞭解更多資訊，請造訪www.inpria.com。

關於JSR Corporation

JSR Corporation是在全球擁有9000多名員工的跨國公司，是各種科技驅動型市場中的一流材料供應商。JSR的全球網路總部位於日本東京，在歐洲、美國、中國、臺灣、韓國、新加坡和泰國設有工廠和辦事處。JSR是以研究為導向的公司，致力於與許多產業的一流創新者密切合作，這些產業對人類社會現在和未來的福祉至關重要：生命科學、儲能、合成橡膠、電子材料、顯示器和邊緣運算相關產業。有關JSR Corporation的更多資訊，請造訪www.jsr.co.jp。

關於SK hynix Inc.
www.skhynix.com

關於ALIAD
www.airliquide.com/connected-innovation/aliad-venture-capital

關於Applied Ventures
www.appliedventures.com或關注@Applied_VC

關於英特爾資本
www.intelcapital.com或關注@Intelcapital

關於三星創投
www.samsungventure.co.kr

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