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JEOL LTD.

日本電子株式會社:推出新型肖特基場發射(FE)掃描電子顯微鏡JSM-F100

―全新等級的智慧分析場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM),兼具高解析度和強大的可操作性―

2019-08-05 09:40
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東京--(美國商業資訊)--日本電子株式會社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(總裁兼營運長:大井泉)宣布,將於2019年8月推出新型肖特基(Schottky)場發射掃描電子顯微鏡JSM-F100。

本新聞稿包含多媒體資訊。完整新聞稿請見此: https://www.businesswire.com/news/home/20190804005013/zh-HK/

https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html

背景

掃描電子顯微鏡(SEM)應用於不同的領域:奈米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等。隨著應用範圍的擴大,SEM使用者需要快速、高品質的資料擷取及簡單的組成資訊確認和無縫操作。

JSM-F100搭載我們備受推崇的浸沒式(In-lens)肖特基Plus場發射電子槍和"Neo Engine"(電子光學控制系統),以及全新的GUI "SEM Center"和創新的「即時影像視覺增強器-人工智慧(LIVE-AI)濾鏡」,實現了高空間解析度成像和可操作性的最優組合。此外,標準的JEOL能量色散型X射線光譜儀(EDS)完全整合於"SEM Center"內,可實現從影像到元素分析結果的無縫採集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我們之前的JSM-7000系列50%或以上,實現了生產量的顯著提高。

特性

  1. 浸沒式肖特基Plus場發射電子槍
    電子槍與低像差聚光透鏡的進一步整合帶來更高的亮度。低加速電壓下具有足夠的探頭電流,支援從高解析度成像到高速元素映射的各種功能。
  2. 混合式透鏡(HL)
    混合式透鏡(HL)將靜電場鏡和磁場透鏡相結合,支援各種樣品的高空間解析度成像和分析。
  3. Neo Engine(新型電子光學引擎)
    Neo Engine是一款先進的電子光學控制系統,可顯著提高自動化功能的精確度和可操作性。
  4. "SEM Center"新功能
    全新GUI "SEM Center"全面整合SEM成像和EDS分析,提供使用FE-SEM實現的下一代可操作性和高解析度影像。
  5. "Zeromag"新功能
    整合的"Zeromag"可實現從光學成像到SEM成像的無縫過渡,讓定位目標樣品區域變得十分輕鬆。
  6. 全新LIVE-AI濾鏡*
    透過利用人工智慧(AI)功能,整合的LIVE-AI濾鏡可以提供更高品質的即時影像。與影像融合處理不同,這款新的濾鏡能夠顯示無縫移動的即時影像,無殘留影像,對於快速搜尋觀察區域、對焦和散光像差補償器調整十分有效。
    *選購

規格

解析度(1 kV)

1.3奈米

解析度(20 kV)

0.9奈米

加速電壓

0.01至30 kV

標準檢測器

高位電子檢測器(UED),二次電子檢測器(SED)

電子槍

浸沒式肖特基Plus場發射電子槍

探頭電流

幾pA至300 nA (30 kV)
幾pA至100 nA (5 kV)

物鏡

混合式透鏡(HL)

樣品台

全優中心(eucentric)測角儀樣品台

樣品移動

X軸:70毫米,Y軸:50毫米,Z軸:2至41毫米
傾斜: –5至70°,旋轉:360°

EDS檢測器

能量解析度:133 eV或更低
可檢測元素:B(硼)至U(鈾)
檢測面積:60平方毫米

目標年銷量

60台/年

日本電子株式會社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉,總裁兼營運長
(股票代碼:6951,東京證券交易所第一部)
www.jeol.com

免責聲明:本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用,煩請參照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

請前往 businesswire.com 瀏覽源版本: https://www.businesswire.com/news/home/20190804005013/zh-HK/

CONTACT:

日本電子株式會社
科學與測量儀器銷售部
Kazunori Kitazumi
+81-3-6262-3567
https://www.jeol.co.jp/en/support/support_system/contact_products.html

JSM-F100 (Photo: Business Wire)

JSM-F100 (Photo: Business Wire)

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